Шкафы газобаллонные для особочистых газов – Особенности технологического применения

Введение

      В современном технологическом оборудовании, предназначенном для ростовых процессов, плазмохимии, нанесения и обработки тонких пленок, исследовательском оборудовании во многих случаях в качестве технологической среды используются различные газы и газовые смеси. При этом предъявляются очень высокие требования по чистоте рабочих газов. Часто применяемые газы обладают высокой токсичностью, являются пожаро- и взрывоопасными, а также химически активными. Всеми вышеперечисленными свойствами обладают, в частности, такие газы, как хлористый водород, аммиак, ацетилен, моносилан и другие.

      Для безопасного размещения баллонов с требуемыми газами и создания требуемого по расходу и давлению потока газов, применяют специальные газобаллонные шкафы.

Требования к газобаллонным шкаф...