Возможности улучшения систем ионизации чистых помещений

      Ионизация является требованием к окружающим условиям, которое является критическим и влияет на выход годных годных изделий и объемы выпуска. К сожалению, процесс ионизации очень трудно поддается управлению и мониторингу Обычные, традиционные системы ионизации включают в себя сотни потолочных ионизаторов воздуха, которые рассредоточены по всему пространству чистых зон в полупроводниковом производстве, производстве жестких дисков, жидкокристаллических дисплеев, медицинских устройств, МЭМС (микроэлектромеханические системы) и пр. Излучатели (эмиттеры) могут быть собраны по 6 или более в коллектор (устройство управления) и уровни (срабатывания устройств), вызывающие тревогу, могут отличаться от зоны к зоне внутри одного производства. Эмиттеры и вспомогательное оборудование обычно устанавливаются в уединенных местах, где они функционируют, не создавая помех для производственных процессов. В результате, аварийный сигнал системы ионизации может не быть замеченным вп...