Стандарт ИСО 14644-9 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды Часть 9: Классификация чистоты поверхности по концентрации частиц

3. Термины и определения

      В данном документе были использованы следующие термины и определения, указанные в ИСО 14644-6:2007.

3.1 Дескриптор для выделенного диапазона размеров частиц

      Дифференциальный дескриптор, выражающий уровень чистоты поверхности по частицам SPС (SPC-surface particle cleanliness) в интервале выделенного диапазона частиц.

ПРИМЕЧАНИЕ: дескриптор можно использовать для диапазонов размеров частиц, представляющих особый интерес, или диапазонов, выходящих за рамки системы классификации, он может устанавливаться независимо или служить дополнением к классам SPC.

3.2 Метод прямого измерения

      Оценка загрязнения без каких-либо промежуточных стадий.

3.3 Метод косвенного измерения

      Оценка загрязнения с промежуточными стадиями.

3.4 Метод ...