www.cleanrooms.ru/Архив/2011/1/2011 (37) январь-март

Стандарт ИСО 14644-9 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды Часть 9: Классификация чистоты поверхности по концентрации частиц

Чистые помещения | 1/2011 (37) январь-март

Приложение B (информационное)

Дескриптор для специфических диапазонов размеров частиц

1. Применение

      Для размеров частиц, лежащих за пределами классификации, используется дифференциальный дескриптор. Этот дескриптор также можно использовать для определения специфических диапазонов размеров частиц. В этих случаях дескриптор может служить как дополнение к стандартной классификации.

2. Дескриптор поверхности для специфических диапазонов размеров частиц

      Дескриптор Nss (счётная концентрация частиц для специфического диапазона размеров) для заданного диапазона размеров частиц можно определять независимо или в дополнение к стандартной классификации. Дескриптор можно применять к любому диапазону размеров частиц.

      Концентрация частиц на поверхности Cs для диапазона размеров DL - DU является диф...

Доступ только пользователям с подпиской. Чтобы прочитать статью целиком, оформите подписку.
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
< вернуться назад