Стандарт ИСО 14644-9 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды Часть 9: Классификация чистоты поверхности по концентрации частиц
Чистые помещения | 1/2011 (37) январь-март
Приложение B (информационное)
Дескриптор для специфических диапазонов размеров частиц
1. Применение
Для размеров частиц, лежащих за пределами классификации, используется дифференциальный дескриптор. Этот дескриптор также можно использовать для определения специфических диапазонов размеров частиц. В этих случаях дескриптор может служить как дополнение к стандартной классификации.
2. Дескриптор поверхности для специфических диапазонов размеров частиц
Дескриптор Nss (счётная концентрация частиц для специфического диапазона размеров) для заданного диапазона размеров частиц можно определять независимо или в дополнение к стандартной классификации. Дескриптор можно применять к любому диапазону размеров частиц.
Концентрация частиц на поверхности Cs для диапазона размеров DL - DU является диф...
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь