Стандарт ИСО 14644-9 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды Часть 9: Классификация чистоты поверхности по концентрации частиц

Приложение B (информационное)

Дескриптор для специфических диапазонов размеров частиц

1. Применение

      Для размеров частиц, лежащих за пределами классификации, используется дифференциальный дескриптор. Этот дескриптор также можно использовать для определения специфических диапазонов размеров частиц. В этих случаях дескриптор может служить как дополнение к стандартной классификации.

2. Дескриптор поверхности для специфических диапазонов размеров частиц

      Дескриптор Nss (счётная концентрация частиц для специфического диапазона размеров) для заданного диапазона размеров частиц можно определять независимо или в дополнение к стандартной классификации. Дескриптор можно применять к любому диапазону размеров частиц.

      Концентрация частиц на поверхности C_s для диапазона размеров D_L - D_U является диф...