www.cleanrooms.ru/Архив/2011/2/2011 (38) апрель-июнь

План проведения измерений для классификации чистых помещений по аэрозольным частицам

Нилс Вивер Хартвиг, Гордон Дж. Фаркварсон, Марк Варни Роберт, Милк Майк Фостер

Чистые помещения | 2/2011 (38) апрель-июнь

      Концентрация аэрозольных частиц является критическим параметром для чистых помещений, чистых зон и связанных с ними контролируемых сред. При классификации и её повторном проведении концентрация частиц должна измеряться в типичных точках чистого помещения. Кроме того, в критических точках чистого помещения в ходе производственного процесса концентрация частиц должна проверяться периодически или контролироваться постоянно. В ходе таких измерений важным является выбор количества и расположения точек отбора проб и критериев оценки данных.

      Как стандарт ИСО 14644 1999 года, так и его предварительная новая версия рассматривают 9 классов чистоты, для которых максимально допустимая концентрация аэрозольных частиц является функцией их размера для каждого класса. Оба стандарта, ИСО 14644-1:1999 и новая версия ISO/FDIS 14844-1, определяют необходимые для классификации количество точек отбора проб и критерии оценки данных.

 ...

Доступ только пользователям с подпиской. Чтобы прочитать статью целиком, оформите подписку.
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
< вернуться назад