Современные методы утилизации промышленных отходов в микроэлектронике

Введение

      Производство субмикронных интегральных схем -это достаточно длительный и многостадийный процесс, продолжающийся от полутора до 2-х месяцев и состоящий более чем из 500 технологических операций, где применяются десятки самых разных видов химических материалов, реагентов, специальных газов, многие из которых являются высокотоксичными, легковоспламеняющимися, взрывоопасными, высокореакционными и представляют реальную угрозу как для человека, так и для окружающей среды. Помимо этого дальнейшее развитие полупроводниковой технологии постоянно требует внедрения новых техпроцессов и новых материалов. Например, уже сегодня для MOCVD-процессов (химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений) используют или будут использовать металлоорганику, металлгалогениды, металлни-траты и другие прекурсоры [1].

      Эти новые материалы для продвинутых CVD-процессов в настоящее время вызывают опреде...