Стандарт ИСО 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды Часть 1: Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц

Приложение С (информационное)

Особенности счёта и оценки размеров частиц, находящихся вне диапазона размеров, используемого для классификации

С.1 Основные принципы

      В некоторых случаях, обычно связанных со специфическими требованиями технологического процесса, могут задаваться альтернативные уровни чистоты воздуха для групп частиц, находящихся вне размерного диапазона, применяемого при классификации. Максимально допустимые концентрации таких частиц и выбор метода измерения для подтверждения соответствия требованиям определяются соглашением между заказчиком и исполнителем. Анализ методов измерения и принятые формы обозначения даны в С.2 (для U-дескрипторов) и С.3 (для М-дескрипторов).

С.2 Анализ частиц размером менее 0,1 мкм (ультрамелкие) - U-дескриптор

С.2.1 Область применения

      Если требуется оценить риск загрязнения ча...