Электростатическая безопасность чистых производственных помещений

      Вопросы, относящиеся к защите от статического электричества в чистых производственных помещениях (ЧП), возникли и остаются актуальными с самого начала их эксплуатации, т.е. более 60 лет. Это объясняется многими причинами, но три из них рассматриваются как основные. Во-первых, электростатическое заряжение (ESC - electrostatic charge) является причиной электростатического разряда (ESD - electrostatic discharge), что вызывает не только повреждение электронных изделий при их производстве, но зачастую становится причиной взрыва взрывоопасных смесей газов. Во-вторых, современные электронные приборы становятся все более сложными и чувствительными, а электростатические разряды могут вносить искажения в их работу и даже вызывать потерю функций [1-3]. И наконец, в настоящее время медико-биологические исследования доказали крайне отрицательное влияние статического электрического поля (СЭП) на функциональное состояние человека. Не напрасно СЭП называют невидимым загрязне...