Активная виброизоляция для высокочувствительного измерительного оборудования

Активная виброизоляция позволяет добиться очень низкого остаточного уровня вибрации, особенно для низкочастотных возмущений, при этом отсутствуют резонансные явления, имеющие место в пассивных системах

      Современные технологии требуют таких условий окружающей среды, которые в наибольшей степени удовлетворяют их требованиям, и эти условия обеспечивают лабораторные чистые помещения. В частности, производство, манипулирование и тестирование изделий и устройств очень малых размеров является основной задачей во многих отраслях промышленности. В полупроводниковой отрасли системы контроля кремниевых пластин позволяют сканировать структуру пластины с разрешением в несколько нанометров. В области биотехнологий манипуляции с клетками проводятся с микронной точностью. Учёные-материаловеды изучают молекулярную структуру новых материалов при помощи сканирующего электронного микроскопа. Любые из перечисленных направлений ограничены в своих возможн...