Стратегии химической фильтрации для контроля молекулярных загрязнений в воздухе. Часть 1

      Контроль воздушных молекулярных загрязнений (ВМЗ) стал неотъемлемой составляющей требований к чистым помещениям на производствах, эксплуатирующих высокие технологии. Оптимальный контроль включает три этапа:

1. Оценку качества воздуха как внутри, так и за пределами предприятия для определения загрязнений, подлежащих контролю, и факторов, которые могут оказать влияние на систему контроля.
2. Выбор и квалификацию системы контроля молекулярных загрязнений воздуха.
3. Постоянный мониторинг контролируемой среды и параметров работы системы контроля [1].

      Примером процессов, требующих контроля воздушных молекулярных загрязнений, могут служить очистка от загрязнений поступающего воздуха, используемого для вентиляции или создания давления; очистка технологических отходов и удаление посторонних примесей из рециркуляционных потоков; процессы очистки отработанного воздуха. Насколько широк ряд ...