www.cleanrooms.ru/Архив/2012/2/2012 (42) апрель-июнь

Стратегии химической фильтрации для контроля молекулярных загрязнений в воздухе. Часть 2

Брэд Стэнли, Кристофер Муллер

Технологические среды | 2/2012 (42) апрель-июнь

Выбор системы контроля воздушных молекулярных загрязнений (ВМЗ)

      Сейчас производители обладают гораздо более глубокими знаниями в понимании эффекта, оказываемого молекулярными загрязнениями воздуха на окружающую среду чистого помещения. Они значительно лучше представляют, где конкретно и почему следует контролировать молекулярные загрязнения. В связи с этим расширяются и требования к системам контроля ВМЗ.

      Фактически, опасения некоторых производителей относительно правильного выбора системы контроля настолько серьезны, что они получили отражение в технических требованиях. Причем, один производитель может предусматривать удаление не менее 90% контролируемых загрязнений, тогда как другой установит контрольные границы для воздушных молекулярных загрязнений на уровне в 1 ppb или ниже. При этом кто-либо еще может потребовать, чтобы система контроля функционировала не менее года между процедурами замены фил...

Доступ только пользователям с подпиской. Чтобы прочитать статью целиком, оформите подписку.
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
< вернуться назад