Способы оптимизации процесса подготовки деионизованной воды и методов ее контроля при производстве СБИС

      В производственно-технологическом комплексе НИИИС для обеспечения кристального производства деионизованной водой используется общепринятая классическая система подготовки деионизованной воды (система ДИВ).

      Система ДИВ включает в себя три основные стадии:

      - предварительной подготовки (механическая фильтрация в многослойном фильтре; сорбция в угольном фильтре; ионный обмен в фильтре умягчения);

      - основной очистки (обратноосмотическое обес-соливание; ультрафиолетовая стерилизация; электродеионизация CEDI);

      - финишной очистки (мембранная дегазация; ультрафиолетовая оксидация; ионный обмен в фильтрах смешанного действия первичном и полирующем; микрофильтрация).

      На сегодняшний день актуальной является задача снижения эксплуатационных затрат на подготовку деионизованной воды при обеспечении стабильности ее ка...