www.cleanrooms.ru/Архив/2013/3/2013 (47) июль-сентябрь

Проблемы и состояние промышленной и экологической безопасности в высокотехнологичном производстве электроники в России

Сергей Трошин

Инженерная практика | 3/2013 (47) июль-сентябрь
Развитие газофазных процессов в электронике      Современный уровень развития микро- и наноэлектроники во многом стал возможен благодаря разработке и развитию воспроизводимых газофазных процессов осаждения, селективного удаления и модификации материалов. В отличие от предшествующей технологии, основанной на процессах, проводимых в жидкой среде (жидкостное химическое и электрохимическое травление, жидкофазная эпитаксия и т. д.), газофазные процессы выгодно отличаются чрезвычайным снижением уровня вносимых загрязнений и возможностью точного управления широким диапазоном изменений параметров процесса.      В ряде технологических процессов газофазные процессы нашли широкое применение: - анизотропное травление химически стойких материалов (Аl2O3, благородные, тугоплавкие металлы и их сплавы); - глубокое и сквозное травление материалов IV группы (С, Ge, Si, SiC, SiGe), соединений с высоким аспектным отношением при субмикронных топологических р...
Доступ только пользователям с подпиской. Чтобы прочитать статью целиком, оформите подписку.
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
< вернуться назад