Проблемы и состояние промышленной и экологической безопасности в высокотехнологичном производстве электроники в России

Развитие газофазных процессов в электронике

     Современный уровень развития микро- и наноэлектроники во многом стал возможен благодаря разработке и развитию воспроизводимых газофазных процессов осаждения, селективного удаления и модификации материалов. В отличие от предшествующей технологии, основанной на процессах, проводимых в жидкой среде (жидкостное химическое и электрохимическое травление, жидкофазная эпитаксия и т. д.), газофазные процессы выгодно отличаются чрезвычайным снижением уровня вносимых загрязнений и возможностью точного управления широким диапазоном изменений параметров процесса.

     В ряде технологических процессов газофазные процессы нашли широкое применение:

- анизотропное травление химически стойких материалов (Аl2O3, благородные, тугоплавкие металлы и их сплавы);

- глубокое и сквозное травление материалов IV группы (С, Ge, Si, SiC, SiGe), соединений с высоким аспект...