Проблемы и состояние промышленной и экологической безопасности в высокотехнологичном производстве электроники в России
Сергей Трошин
Инженерная практика | 3/2013 (47) июль-сентябрь
Развитие газофазных процессов в электронике
Современный уровень развития микро- и наноэлектроники во многом стал возможен благодаря разработке и развитию воспроизводимых газофазных процессов осаждения, селективного удаления и модификации материалов. В отличие от предшествующей технологии, основанной на процессах, проводимых в жидкой среде (жидкостное химическое и электрохимическое травление, жидкофазная эпитаксия и т. д.), газофазные процессы выгодно отличаются чрезвычайным снижением уровня вносимых загрязнений и возможностью точного управления широким диапазоном изменений параметров процесса.
В ряде технологических процессов газофазные процессы нашли широкое применение:
- анизотропное травление химически стойких материалов (Аl2O3, благородные, тугоплавкие металлы и их сплавы);
- глубокое и сквозное травление материалов IV группы (С, Ge, Si, SiC, SiGe), соединений с высоким аспект...
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь