Анализ PPQ-уровня сверхчистой деионизованной воды, применяемой на полупроводниковых производствах

     Сверхчистая вода является наиболее распространённым растворителем, применяемым на полупроводниковых производствах. Исторически сложилось так, что технология очистки воды позволяет достигать уровень чистоты, требующийся в полупроводниковой промышленности. Хотя за последние несколько десятилетий произошли некоторые изменения, технология очистки воды практически не изменилась. Даже аналитические методики измерения содержания примесей оказывались недостаточно чувствительными для измерения примесей металлов в сверхчистой воде для полупроводниковых производств. Однако уменьшение характеристических размеров полупроводниковых микросхем привело к новым опасениям относительно таких примесей.

     Комитет по международной дорожной карте технологии полупроводников (ITRS - International Technology Roadmap for Semiconductors) установил требования к материалам на основании тенденций развития полупроводниковых приборов [1]. Комитет ITRS, ответственны...