Факты и вымыслы в метрологии чистых помещений

     В данной статье обсуждается ряд параметров чистых помещений. Критический анализ показывает, что рабочий диапазон некоторых параметров не рассматривается в должной мере ранними стандартами и руководствами, которые всё ещё используются регуляторными органами (например, Управлением по контролю продуктов питания и лекарственных препаратов США (FDA) и Европейским Содружеством) и специалистами.

     На практике диапазоны контролируемых параметров чистых помещений оказываются значительно шире, чем ожидается в соответствии с нормативными документами, особенно касательно скорости однонаправленного потока, перепада давления и других параметров. Многие методики измерения, такие как проверка целостности установленных НЕРА-фильтров и измерение времени восстановления чистого помещения, также регламентируются более строго, чем этого требует необходимость.

     Современные методы измерений параметров чистых помещений требуют...