Фильтрация воды для иммерсионных процессов: удаление наночастиц

Введение

     Иммерсионная литография - это один из процессов, который позволит еще больше снизить размеры элементов полупроводниковых устройств. Замена воздуха в пространстве между линзой и пластиной на воду увеличивает показатель преломления почти до уровня показателя линзы, повышая тем самым разрешение. Применение воды дает возможность применять лазеры, работающие на длине волны 193 нм, что обеспечивает лучшие результаты, чем при использовании воздуха в качестве среды между линзой и пластиной.

     Однако, водная иммерсия имеет свои технологические пределы применения. Очевидным требованием к воде в качестве иммерсионной среды является отсутствие частиц, которые будут приводить к появлению дефектов в процессе литографии. Особое внимание следует обращать на предотвращение загрязнения воды ...