Стандарт ISO 14644-2. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Мониторинг концентрации частиц для подтверждения характеристик чистого помещения по чистоте воздуха

Введение

     Данная часть стандарта ISO 14644 подчёркивает необходимость разработки стратегии мониторинга в дополнение к классификации чистого помещения или чистой зоны согласно ISO 14644-1. Организация мониторинга обеспечивает непрерывное поступление данных в зависимости от времени, что позволяет получить более детальную картину характеристик комплекса чистого помещения.

Потенциальные преимущества более досконального мониторинга:

• Более быстрый отклик на неблагоприятные события и условия.
• Возможность анализа тенденций изменения данных во времени.
• Интеграция данных от нескольких приборов.
• Расширенные знания о комплексе чистого помещения и процессе позволяют провести более эффективный анализ рисков.
• Снижение потерь продукции и эксплуатационных затрат.

     Стандарт ISO 14644-2 устанавливает требования к плану мониторинга на основа...