Стандарт ISO 14644-13. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 13: Очистка поверхностей для достижения определённых уровней чистоты в рамках классификации по частицам и химическим загрязнениям

Приложение B

(Информативное)

Методы очистки

B.1 Общие положения

      Количество существующих методик очень велико. Данный обзор содержит краткое описание основных методов очистки. Методически она делится на:

      - механическую,

      - жидкостную,

      - химическую,

      - струйную.

      В некоторых случаях возможно комбинирование методов.

      Для всех методик сухой очистки трибоэлектрические эффекты могут вызывать накапливание заряда на поверхности. Электростатическое притяжение вносит существенный вклад в адгезию частиц пыли на поверхности продукта. Чтобы устранить электростатические силы адгезии можно н...