Стандарт ISO 14644-13. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 13: Очистка поверхностей для достижения определённых уровней чистоты в рамках классификации по частицам и химическим загрязнениям
Перевод М. Шахова
Чистые помещения | 4/2016 (60) окрябрь-декабрь
Приложение B
(Информативное)
Методы очистки
B.1 Общие положения
Количество существующих методик очень велико. Данный обзор содержит краткое описание основных методов очистки. Методически она делится на:
- механическую,
- жидкостную,
- химическую,
- струйную.
В некоторых случаях возможно комбинирование методов.
Для всех методик сухой очистки трибоэлектрические эффекты могут вызывать накапливание заряда на поверхности. Электростатическое притяжение вносит существенный вклад в адгезию частиц пыли на поверхности продукта. Чтобы устранить электростатические силы адгезии можно н...
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь