Стандарт ISO 14644-13. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 13: Очистка поверхностей для достижения определённых уровней чистоты в рамках классификации по частицам и химическим загрязнениям

11 Валидация очистки

11.1 Общие положения

      Чтобы оценить пригодность выбранной процедуры очистки следует рассмотреть её эффективность и степень очистки.

      В целях валидации процесса очистки относительно достижения требуемого уровня чистоты по концентрации частиц или химических загрязнений, следует определить полученные SСР и/или SСС классы чистоты поверхности.

      Также следует рассмотреть и другие связанные с функциональностью аспекты, такие как повторяемость, воспроизводимость, влияние оператора.

      В пункте 8 определен ряд требований, не относящихся к характеристикам очистки. Хотя эти требования принимаются во внимание при выборе метода очистки, в процессе валидации следует убедиться, что указанные требования выполняются.

      Рис. 3 и 4 раскрывают смысл понятий эффективность (efficiency) и...