Что содержит новый стандарт чистоты ISO 14644-13

      Стандарт ISO 14644. Часть 13 «Очистка поверхностей для достижения определенных уровней чистоты в рамках классификации по частицам и химическим загрязнениям» посвящен очистке поверхностей чистых помещений с целью удаления частиц (под поверхностью, в данном случае, подразумевается любой твердый объект, рабочая поверхность или компонент оборудования). Очистка является важным элементом системы контроля загрязнения, поскольку загрязнение частицами может нанести значительный ущерб чувствительным материалам и электронным компонентам.

      Новый стандарт будет входить в общий комплект документов Стандарта ISO 14644, регулирующего условия в чистых помещениях (в настоящее время, помимо проекта, обсуждаемого в данной статье, уже действует 12 частей стандарта ISO 14644). Первая часть Стандарта, опубликованная в 1999 г. и впоследствии пересмотренная в 2015 г. [2], устанавливает классификацию чистых помещений по концентрации аэрозольн...