www.cleanrooms.ru/Архив/2015/1/2015 (53) январь-март

Стандарт ISO 14644-1. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц

Перевод Михаила Шахова

Чистые помещения | 1/2015 (53) январь-март

Приложение С

(информационное)

Особенности счёта и оценки размеров макрочастиц

С.1 Основные принципы

     В некоторых случаях, обычно связанных со специфическими требованиями технологического процесса, могут задаваться альтернативные уровни чистоты воздуха для частиц, находящихся вне размерного диапазона, применяемого при классификации. Максимально допустимые концентрации таких частиц и выбор метода измерения для подтверждения соответствия требованиям определяются соглашением между заказчиком и исполнителем. Анализ методов измерения и принятые формы обозначения даны в С.2 (для М-дескрипторов).

С.2 Анализ частиц размерами более 5 мкм (макрочастицы) - М-дескриптор

С.2.1 Область применения

     Если требуется оце...

Доступ только пользователям с подпиской. Чтобы прочитать статью целиком, оформите подписку.
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
< вернуться назад