Перспективы мониторинга загрязнений воздушной среды летучими молекулярными соединениями

     Технологический прогресс в некоторых высокотехнологических отраслях обеспечивается возможностью работы с объектами все уменьшающихся размеров, что, в свою очередь, усложняет процесс метрологического мониторинга. Загрязнение молекулярными веществами воздушной среды (англ. АМС - Airborne Molecular Contamination) - это химическое загрязнение веществами, содержащимися в воздушной среде в форме аэрозоля или испарений, которое оказывает пагубное воздействие на продукты, процессы или приборы и приспособления. Особенно критичен контроль АМС для производства полупроводниковой и фотоэлектрической продукции, сверхъярких и органических светодиодов, а также в нанотехнологических процессах. В 2013 Европейским Союзом был запущен новый исследовательский проект, целью которого является расширение возможностей по мониторингу загрязнения воздушной среды молекулярными веществами.

     В 2011 году по оценке Европейской Комиссии н...