Усовершенствование методов контроля электростатического разряда

УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО РАЗРЯДА

Статья опубликована в журнале "Controlled Environments", сентябрь-октябрь 2015 (www.cemag.us)

Как оценить результаты применения программы контроля электростатического разряда (ESD-контроля, англ. Electro Static Discharge) в процессе эксплуатации чистых помещений?

Контроль генерации электростатического заряда при эксплуатации всех чистых помещений необходим на всех участках, поскольку отсутствие такого контроля может привести к снижению выхода годного продукта, выходу из строя автоматики вследствие воздействия на них электромагнитных помех, загрязнению поверхностей чистых помещений и продукции по причине накопления на них жизнеспособных и нежизнеспособных частиц под действием сил электростатического притяжения. В чистых помещениях таких отраслей промышленности, как полупроводниковая, микроэлектрон...