Стандарты при проектировании, строительстве и монтаже чистых помещений

      Чистые помещения являются жизненно важной частью в микроэлектронной промышленности, особенно при производстве полупроводников. Для управления и обеспечения качества продукции в этих областях используются специальные стандарты, которыми руководствуются при строительстве и эксплуатации чистых помещений. Соблюдение всех требований, предъявляемых к проектированию и строительству чистых помещений, обеспечивает более комплексный подход по сравнению с реализацией обычных строительных проектов, при этом стандарты служат отправной точкой при проектировании для успешного осуществления поставленной задачи в свете удовлетворения требований конечного пользователя.

      Необходимость в появлении международного стандарта, охватывающего все параметры контролируемой среды и надлежащую практику эксплуатации чистых помещений, появилась после того, как в различных странах были разработаны собственные стандарты, которые создавали определённую путан...