Стандарты классификации чистых помещений

ФЕДЕРАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ 209

ПРЕЖНИЕ ФЕДЕРАЛЬНЫЕ СТАНДАРТЫ 209 (А-D)

      Первый Федеральный Стандарт (FS) 209 был опубликован в США в 1963 г. и назывался «Требования к чистым помещениям и рабочим местам с контролируемой средой». Он пересматривался в 1966 (209А), 1973 (209В), 1987 (209С), 1988 (209D) и 1992 (209Е) годах. Параметры чистых помещений, классифицируемых по ранним версиям FS 209 с А по D, приведены в таблице 1. Класс чистого помещения определяется путем измерения числа частиц размером 0,5 мкм и более в одном кубическом футе1 воздуха в помещении и его сопоставления с верхним пределом для соответствующего класса.

ФЕДЕРАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ 209Е

      В FS 209Е концентрация частиц в воздухе выражена в метрических единицах, т.е. в числе частиц в кубическом метре, а класс определяется как логарифм концентрации частиц размером 0,5 мкм в кубическом м...