Очистка газов в лини в точке использования

Общие положения

      Предназначение очистителей - удалять гомогенные (молекулярные) примеси из газов. Как правило, основу очистителей составляют реакционноспособные компоненты, предназначенные для удаления таких примесей, как кислород и влага. Очистители, производимые фирмой Майкролис (бывшее отделение микроэлектроники фирмы Миллипор) и рядом других компаний, дополнительно содержат фильтрующий элемент для удаления гетерогенных примесей (частичек) из газов и разработаны, в том числе, для непосредственной замены простых фильтров в точке использования. Также очистители могут использованы в газовых шкафах, газораспределительных боксах и газовых системах транспортировки основных газов носителей.

      Для микроэлектронного производства используется четыре основных технологии получения реакционно-способных компонентов для очистки газов:

      - с гетером на основе металлических сплавов;