Молекулярные загрязнения в атмосфере чистых технологических помещений микроэлектронных производств

      Предлагаемый вашему вниманию обзор выполнен по материалам, представленным Balazs Analitical Laboratory на ее web сайте. Эта лаборатория в настоящее время является ведущей аналитической лабораторией, обслуживающей микроэлектронную промышленность и связанные с ней производства. Лаборатория является самостоятельным предприятием, выполняющим любые заказы в самые короткие сроки. Она проводит широкий спектр аналитических исследований, среди которых и исследования воздушной среды ЧП на наличие молекулярных загрязнений из различных конструкционных материалов, а также исследования источников и видов загрязнения поверхностей.

      Микроэлектронные производства для поддержания выхода годных изделий всегда контролировали чистоту воздушной среды в ЧП по содержанию частиц. С учетом увеличения размеров чипов и уменьшения минимального размера элементов наблюдается тенденция увеличения класса чистоты от кл.1000 через кл.100 до кл.10 и 1 (согласно Fd...