Современные направления в контроле аэрозольных микрозагрязнений

      Контроль аэрозольных микрозагрязнений - это важнейшая составляющая технологии чистых помещений, без которой невозможна точная и безошибочная работа всего сложного технологического комплекса, которым являются современные чистые помещения. При этом наиболее значимыми и информативными характеристиками, определяющими класс чистоты помещения, являются счетная концентрация и размеры аэрозольных частиц с диаметрами от 0.1 мкм до 5.0 мкм в воздухе чистых помещений и чистых зон. Именно эти величины регламентируются стандартами ISО [1], национальными стандартами [2,3] и правилами GМР [4,5].

1. Новые элементы в устройстве, конструкции и дизайне приборов

      Для контроля аэрозольных микрозагрязнений в чистых помещениях используются лазерные счётчики и спектрометры аэрозолей - приборы, определяющие количество частиц, прокаченных через измерительный объём прибора, путём подсчёта количества импульсов света, рассеянного...