Предотвращение молекулярного загрязнения воздуха

Введение

      Технологическое оборудование чистых помещений обычно создается с целью защиты персонала или производственного процесса от загрязняющих воздух частиц и обеспечения необходимого контроля за воздушной средой. Кроме аэрозольного загрязнения, иногда контролируются и другие параметры, например, температура, влажность, уровень вибрации и электромагнитное излучение. В последнее время сфера контроля стала включать в себя и наличие в воздухе газообразных химических соединений. Это связано с тем, что большая часть примесей, оседающих на поверхностях в чистых помещениях, образуется за счет газообразных веществ, а не частиц аэрозолей. Это явление хорошо известно в микроэлектронной промышленности и получило название «молекулярное загрязнение воздуха» (airborne molecular contamination -АМС). Помутнение кристаллических пластин, коррозия и неконтролируемое легирование - лишь некоторые примеры вызываемых молекулярным загрязнение...