www.cleanrooms.ru/Архив/2003/3/2003 (7) июль-сентябрь

Последняя разработка в области проверки чистоты поверхностей

Полен М.

Чистые помещения | 3/2003 (7) июль-сентябрь

      Измерение чистоты поверхностей в чистых производственных помещениях - это важная часть любой программы контроля загрязнений, поскольку полученные таким образом данные позволяют персоналу, ответственному за обеспечение чистоты, оценить эффективность процедур очистки деталей и компонентов, рабочих поверхностей, ручных и иных инструментов, устройств для транспортировки, нового оборудования и поступающих снаружи в чистое помещение материалов.

      Одним из широко используемых для этих целей приборов является счетчик (сканер) частиц на поверхности (surface scanner particle counter) - довольно громоздкий специализированный прибор, в котором для поиска частиц контролируемая поверхность сканируется лучом лазера. Приборы такого типа широко используются в полупроводниковой промышленности, при производстве компьютерных жестких дисков и жидкокристаллических мониторов для обнаружения загрязняющих частиц, находящихся на поверхности изделий, поско...

Доступ только пользователям с подпиской. Чтобы прочитать статью целиком, оформите подписку.
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
< вернуться назад