www.cleanrooms.ru/Архив/2003/4/2003 (8) октябрь-декабрь

Компьютерные системы контроля параметров чистых производственных помещений

Калечиц В.И.

Чистые помещения | 4/2003 (8) октябрь-декабрь

      Оптические счетчики частиц аэрозолей - фотоэлектрические приборы, определяющие число частиц, прокаченных через измерительный объём прибора, путём подсчёта количества импульсов света, рассеянного каждой отдельной частицей при её пролете через световой луч - были разработаны в конце 40-х гг. ХХ века. Они использовались исключительно в научно-исследовательских целях и представляли собой сложные дорогие комплексы из многокомпонентных оптических систем, пневматических узлов и электронных блоков. Серийный выпуск таких приборов стал возможен чуть позже, после появления лазеров, позволивших существенно упростить конструкцию многих элементов устройства. Однако подлинный расцвет в разработке и производстве счетчиков частиц аэрозолей наступил в 80-е гг. вместе с появлением и чрезвычайно быстрым распространением чистых производственных помещений. Оптические (в подавляющем большинстве - лазерные) счетчики частиц аэрозолей были - и остаются - единственным инструментом для ...

Доступ только пользователям с подпиской. Чтобы прочитать статью целиком, оформите подписку.
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
< вернуться назад