Новый взгляд на моделирование воздушного потока в чистых помещениях

      Большинство чистых помещений для полупроводниковой промышленности годами строили так, что воздушные фильтры монтировались на потолке. Воздушный поток при таком расположении фильтров называли вертикально ламинарным.

      Теперь этот термин уже давно считается эвфемизмом. Он точен, вероятно, лишь для такого чистого помещения в оснащенном состоянии (at rest), которое, по существу, содержит 1 00%-ный охват потолка фильтрами, а пола - воздухозаборными решетками, и содержит внутри только те объекты, которые не создают завихрений воздушного потока в пространстве от потолка до пола, например, перфорированные столы.

      Появление людей и производственного оборудования в этом помещении  неизбежно нарушит линии воздушного потока и вызовет образование завихрений, причем само чистое помещение больше не будет функционировать в идеальном состоянии с вертикально ламинарным потоком.

      Не...