Статическое электричество в чистых помещениях

      Электростатический заряд (Electrostatic charge - ESC) и электростатический разряд (Electrostatic dischardge -ESD) относят к критическим факторам чистых помещений и рассматривают как один из видов загрязнителей производственной среды. Если электростатические заряды являются причиной притяжения частиц к критическим поверхностям изделий и технологического оборудования, вызывая образование дефектов, то электростатический разряд напрямую повреждает полупроводниковые приборы, медицинские изделия и препятствует работе производственного оборудования [1].

      В то время как само чистое помещение является необходимым требованием в производстве продукции, чувствительной к загрязнениям, условия, которые в нем создаются и поддерживаются (заданные температура и относительная влажность воздуха, как правило, не выше 45%) создают дополнительные проблемы, связанные со статическим электричеством.

      Усовершенствования в т...