Правильный выбор конструкционных материалов -первый шаг к созданию сверхчистой газораспределительной системы

Введение

      Сегодня трудно переоценить значение и роль газораспределительной системы в полупроводниковом производстве. В первую очередь это связано с увеличением объема потребления процессных газов и ужесточением технических требований к их качеству. Однако газовая система отвечает не только за бесперебойную подачу газов к специальному технологическому оборудованию, но и за сохранение и поддержание их высокой чистоты в течение всего периода ее эксплуатации. А, учитывая высокую потенциальную угрозу, которую многие газы могут представлять для человека и окружающей среды, она ответственна за обеспечение безопасности работающего персонала и предотвращение вредных выбросов в атмосферу. Неуклонное развитие полупроводниковой технологии в направлении сверхинтеграции и сверхминиатюризации элементов микросхем, и как одно из следствий -ужесточение контроля микрозагрязнений в процессных газах вплоть до 100 ppt (часть на триллион), привели к ...