2/2004 (10) апрель-июнь
- Чистые помещения
- Новые тенденции в развитии микроэлектронного машиностроения
Очередная ежегодная выставка Semicon Europa 2004 состоялась в Германии в новом мюнхенском выставочном центре с 20 по 22 апреля. На ней в трех гигантских залах были размещены экспозиции около 5 000 различных фирм со всех континентов.
- Опыт эксплуатации установки электродеионизации в составе системы подготовки сверхчистой воды
Качество сверхчистой воды (СЧВ) для производства микросхем неразрывно связано с уровнем топологических норм: по мере увеличения степени интеграции возрастают и требования к воде.
- Пора измерять общий органический углерод?
Пенни Бристоль из компании Ионике Инструменте утверждает, что, поскольку большинство фармацевтических лабораторий, следуя требованиям контролирующих органов, уже имеют анализаторы общего органического углерода (ТОС), их можно использовать и для валидации очистки (ВО), чтобы сэкономить время анализа и деньги на приобретение более специфичных анализаторов - Правильный выбор конструкционных материалов -первый шаг к созданию сверхчистой газораспределительной системы
Сегодня трудно переоценить значение и роль газораспределительной системы в полупроводниковом производстве.
- Система анализа рисков. Опыт практического применения
Данная статья является второй в серии публикаций о системе анализа рисков НАССР. В предыдущей статье читатели журнала были познакомлены с историей создания системы НАССР, с используемой в ней терминологией и с принципами, на которых она основана [1].
- Контроль биозагрязнений в чистых помещениях основывается на анализе рисков
В сентябре прошлого года были приняты два новых международных стандарта: ISО 14698-1: 2003 и ISО 14698-2:2003 [1, 2]. Они имеют общее название «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
