www.cleanrooms.ru/Архив/2004/3/2004 (11) июль-сентябрь

Специальные и технологические газы в полупроводниковой промышленности

Гладких П.А.

Чистые помещения | 3/2004 (11) июль-сентябрь

Введение

      Создание индустрии сверхчистых газов и внедрение в нее последних достижений науки и инженерно-технологической мысли позволяют обеспечивать микроэлектронику сверхчистыми газами, а также решить проблемы транспортировки и подачи сверхчистых газов в пределах полупроводникового завода с помощью специальных инженерных систем (газораспределительных), которые способны поддерживать их исходное качество в течение всего периода эксплуатации. Кроме того, успешно решаются вопросы методического, инструментального и метрологического обеспечения контроля микропримесей в газах. Известно, что химические загрязнения, находящиеся внутри газовой системы, отрицательно влияют на надежность, работу и выход годных полупроводниковых приборов. К таким дефектогенерирующим загрязнениям относятся микрочастицы, влага, химические молекулярные примеси и металлы. Их основными источниками могут быть: процессные газы, транспортная тара (баллоны, цистерны и д...

Доступ только пользователям с подпиской. Чтобы прочитать статью целиком, оформите подписку.
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
< вернуться назад