Специальные и технологические газы в полупроводниковой промышленности

Введение

      Создание индустрии сверхчистых газов и внедрение в нее последних достижений науки и инженерно-технологической мысли позволяют обеспечивать микроэлектронику сверхчистыми газами, а также решить проблемы транспортировки и подачи сверхчистых газов в пределах полупроводникового завода с помощью специальных инженерных систем (газораспределительных), которые способны поддерживать их исходное качество в течение всего периода эксплуатации. Кроме того, успешно решаются вопросы методического, инструментального и метрологического обеспечения контроля микропримесей в газах. Известно, что химические загрязнения, находящиеся внутри газовой системы, отрицательно влияют на надежность, работу и выход годных полупроводниковых приборов. К таким дефектогенерирующим загрязнениям относятся микрочастицы, влага, химические молекулярные примеси и металлы. Их основными источниками могут быть: процессные газы, транспортная тара (баллоны, цистерны и д...