Контроль загрязнений в минисредах и изоляторах

      На сегодняшний день минисреды и изоляционные технологии не только полностью прижились в полупроводниковом и других высокотехнологичных поизводст-вах, но и стали их неотъемлемой частью. Использование минисред и соответствующей автоматизации позволяет повысить уровень контроля загрязнений, а также улучшить технологическую чистоту.

      Минисреды бывают различных форм и размеров. Ранее минисреды сооружались вокруг технологического оборудования, тогда как современные минисреды являются составной частью самих производственных средств. Проектирование оборудования, распределение воздушных потоков и герметизация имеют важнейшее значение для поддержания уровня чистоты, необходимого для бесперебойной работы оборудования.

      Использование счетчиков частиц для контроля загрязнений и для определения параметро...