Газораспределительные системы для субмикронных технологии

Введение

      Газ, прежде чем поступит в специальное технологическое оборудование, должен пройти многие сотни, а иногда и тысячи метров по газовым магистралям, через многочисленные компоненты газового оборудования (газовые панели, клапаны, вентили, редукторы, манометры, фильтры, регуляторы расхода газов и др.) Если принять общую площадь внутренней поверхности трубопроводов 105 см2 (на самом деле она может быть значительно больше), при скорости дегазации нержавеющей стали 1∙10-11 торр∙литр/сек/см2, нетрудно рассчитать общую скорость дегазации с такой рабочей поверхности. Она составит □ 10-6 торр∙литр/сек., что является недопустимым для газовых систем, транспортирующих сверхчистые газы [1]. Поэтому в последнее десятилетие были приняты существенные изменения в методологии создания газовых систем, предназначенных для транспортировки сверхчистых газов. Появилось даже понятие «сверхчистая газораспределительная система». Стандарт S...