Коррозионно-активные газы и газораспределительные системы в полупроводниковом производстве

Введение

      В полупроводниковой промышленности используются различные виды специальных газов, включая газы, которые наряду с их высокой токсичностью, пожароопасностью и высокой химической активностью проявляют и коррозионные свойства. В первую очередь к ним относятся: хлористый водород, бромистый водород, аммиак, хлор, трихлорид бора и др. Эти газы в присутствии следов влаги способны вызывать коррозию труб и/или компонентов газовой системы. Главными источниками следов влаги в газах являются газовые баллоны, газораспределительные системы и технологическое оборудование. Однако следует отметить, что среди всех возможных источников влаги и механизмов (обратная диффузия, десорбция, эффект охлаждения Джоуля-Томсона) ее возникновения наибольший вклад дает разгерметизация газовой системы. Например, при замене баллонов, газораспределительная система открывается и контактирует непосредственно с атмосферой, где концентрация влаги может достигать...