Обзор. Фундаментальные основы практики счета частиц (в соответствии со стандартами ИСО 14644 1-3)

      Когда покупатель собирается приобрести счетчик частиц, его обычно интересуют такие характеристики, как цена, качество, гарантийное и сервисное обслуживание. Но если счетчик частиц будет использоваться для подтверждения соответствия чистых помещений стандарту ИСО 14644, также должны учитываться и его функциональные качества. Наиболее важными техническими характеристиками счетчиков аэрозолей являются чувствительность и объемная скорость потока воздуха через прибор (л/мин, фут/мин), так как обе эти характеристики влияют на эффективность и время проведения измерения. В менее чистых зонах также необходимо учитывать величину предельно допустимой концентрации частиц в воздухе (для данного счетчика).

      Для лучшего понимания этих характеристик нужно представлять себе принцип работы счетчика частиц в воздухе (см. рис. 1). Тонкая струя воздуха прокачивается через луч лазера, причем диаметр струи подбирается таким образом, чтобы в луче наход...