(Реферат статьи) Взгляд в будущее мониторинга летучих молекулярных загрязнений воздушной среды чистых помещений

      По мере роста предприятий, использующих металлизацию медью и пластины 300 мм, а также по мере миниатюризации элементов до 65 нм требования к мероприятиям по защите от летучих молекулярных загрязнений становятся более строгими.

      Большинство спецификаций по АМС предусматривает уровни загрязнений менее 1 части на миллиард (1ррb) для основных загрязнителей, причем контроль достижения и поддержания этих уровней может оказаться очень дорогостоящим, если выбор делается в пользу мониторинга в реальном масштабе времени.

      Имеется ряд доступных технологий мониторинга в реальном масштабе времени, с помощью которых можно измерять уровни молекулярных загрязнений воздушной среды вплоть до самых низких значений (<1 ppb). Однако их стоимость может достигать 20 000 $ за контролируемую точку в системе мо...