Использование и рынки сбыта устройств с чистой средой

      Обычно под устройствами с чистой средой (cleanroom devices) понимают модульные системы с ламинарным потоком, называемые также чистыми лабораторными или рабочими местами (cleanroom benches). В то же время это определение можно распространить и на другие устройства, начиная с перчаточных боксов и кончая чистыми помещениями с минисредами. Фактически все возрастающий интерес к минисредам для полупроводниковой промышленности размывает различия между устройствами с чистой средой и чистыми помещениями.

      Рабочая группа № 7 ISO/TC 209 дала следующее определение понятия «устройство с чистой средой»: Оборудование, использующее физические и/или динамические барьеры для создания технически более усовершенствованною уровня разделения между внутренней и внешней частями определенного объема (Equipment utilizing physical and/or dynamic barriers to create improved levels of separation between the inside and outside of a defined volume...