Стандарт ISO 14644-8:2006 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8: Классификация летучих молекулярных загрязнений»

5. Определение соответствия

5.1 Общие положения

      Соответствие требованиям классификации (класс ISО-AМС), заданным заказчиком, подтверждается путем проведения ряда измерений, согласованных между заказчиком и поставщиком, и предоставлением документации по результатам и условиям их проведения.

5.2 Испытания

      Примеры методов измерений приведены в Приложении С. Список описываемых типичных методов не является полным. По соглашению могут применяться альтернативные методы измерений, имеющие сопоставимую точность.

      Примечание 1: Измерения, выполненные различными методами, даже при их правильном применении, могут дать различающиеся результаты одинаковой достоверности.

      Испытания, выполняемые для демонстрации соответствия, должны проводиться с использованием подходящих методов и откалибро...