Выбор датчиков скорости воздуха для мониторинга ламинарного потока (реферат статьи)

      Непрерывно растет доля высококлассных чистых или стерильных помещений в производстве полупроводников и в фармацевтической промышленности, т.к. этого требуют производственные процессы. Чтобы ограничить расходы на поддержание высокого уровня чистоты, производители переходят к тому, чтобы делать сверхчистой зоной не все помещение, а специальные «окружения», обозначаемые как мини-окружения или мини-среды (Mini-Environment), например, камеры с вмонтированными перчатками (Glove-Box), изоляторы или RABS (Restricted Access Barrier System - барьерные системы ограниченного доступа). Общим у всех этих чистых помещений является то, что сверхчистые процессы проводятся по возможности в небольшой и защищенной от постороннего доступа зоне, где можно, например, разливать жидкие лекарственные средства или изготавливать полупроводники.

      Чистые помещения высокого класса чистоты, как правило, оборудуются компьютерными системами мониторин...