www.cleanrooms.ru/Архив/2007/4/2007 (24) октябрь-декабрь

Контроль содержания частиц в чистых помещениях

Юрген Блатнер, Губерт Цвинг

Чистые помещения | 4/2007 (24) октябрь-декабрь

На смену коллекторам пришел непрерывный пробоотбор в каждой точке

      В отличие от измерений, выполняемых для определения класса чистоты производственных помещений, для непрерывного мониторинга чистых помещений классов ИСО 5-7 интерес представляют лишь частицы размером 0,5 и 5 мкм. Еще несколько лет назад для чистых помещений классов ИСО 5-7 были широко распространены так называемые центральные системы мониторинга с одним единственным счетчиком частиц, несколькими пробоотборниками и большим всасывающим насосом, которые называли также коллекторными (manifold) системами.

      Эти системы пользовались успехом благодаря умеренной цене. В связи с ужесточением нормативных требований для зон А и В (ЕС GМР, Приложение 1) коллекторные системы стали неприемлемы, с одной стороны, из-за времени, в течение которого измерение в соответствующей точке не производится (при 1 0 точках измерения каждая точка, как правило, контр...

Доступ только пользователям с подпиской. Чтобы прочитать статью целиком, оформите подписку.
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
< вернуться назад