Борьба с электростатическими эффектами в чистых помещениях

      Эффект электростатического заряжения (ESC) возникает из-за нарушения баланса электронов на поверхности объекта. Он сопровождает практически любые физические явления: удар, трение, воздействие излучения, света, течение жидкостей и многое другое, включая заряжение по индукции [1-2]. Возникающая при этом напряженность электростатического поля является причиной электростатического притяжения (ESA) к заряженной поверхности частиц из окружающей атмосферы, несущих противоположный заряд, и приводит к загрязнению поверхности и удержанию на ней пыли. А момент, когда происходит спонтанный перенос заряда между заряженными объектами до установления нового электрического баланса, называется электростатическим разрядом (ESD). Это явление служит причиной повреждения или порчи многих изделий, производящихся в чистых помещениях в разных отраслях промышленности, а при определенных условиях - и причиной взрыва.

      Разумеется, что контролировать элект...