Производство сверхчистой воды: взгляд изнутри

      Все источники исходной воды содержат различные типы примесей. Их очень много, и не существует двух источников, которые были бы идентичны по типу примесей и их концентрации. Какие вещества будут считаться примесями или загрязнителями воды, зависит от сферы ее применения; например, для питьевой воды они определены в регулирующем документе «Требования к питьевой воде». Для полупроводниковой промышленности загрязнителем будет все, что не является H2O, и концентрация их должна быть как можно меньше и стремиться к нулю.

      Так как практически невозможно очистить воду от всех примесей, цель процесса очистки воды - снизить уровень загрязнителей до минимально возможного уровня.

      Существует возможность разделить загрязнители по категориям, чтобы более адресно управлять их удалением (см. табл. 1). Недостатка в технологиях очистки воды нет. Некоторые технологии удаляют только один класс загрязнителей...