Определение чистоты поверхностей

      В связи с быстрым развитием современных технологий и миниатюризацией устройств во многих высокотехнологичных отраслях чистоте поверхностей уделяется все большее внимание. Технический комитет 209 международной организации по стандартизации предпринимает все меры для того, чтобы удовлетворить потребность специалистов в международном стандарте, регламентирующем поверхностные загрязнения.

      Начиная со дня своего образования в 1993 году, ISO/TC 209 выпустил 10 стандартов, относящихся к уровням загрязнения воздушной среды аэрозольными частицами. Это части 1-8 ISO 14644 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды» и части 1-2 ISO 14698 «Контроль биозагрязнения».

      В 2003 году ТС 209 решил расширить круг своих задач и включить в эту серию стандарты, классифицирующие уровни загрязнения поверхности, для чего была создана рабочая группа (WG) 9 «Чистые поверхности&raqu...