Применение стандарто SEMI F57 в полупроводниковом производстве для систем управления жидкостными потоками

      В микроэлектронике жидкостные процессы обработки пластин являются одними из важнейших и критических операций на всех стадиях технологического процесса получения готового изделия. В современном производстве системы доставки химикатов включают в себя большое количество вентилей, фиттингов и трубок, по которым химикаты доставляются к технологическим установкам жидкостной обработки пластин. Применение этих элементов высокой чистоты минимизирует риск привнесения дополнительных загрязнений, тем самым обеспечивая высокий и воспроизводимый выход годных и надежность получаемых изделий.

      Все системы доставки химикатов требуют проведения аттестации перед запуском технологического процесса. Новые технологии, основанные на применении химикатов с содержанием примесей на уровне менее 1 ррЬ для поддержания приемлемого выхода годных, накладывают особые требования на все компоненты, контактирующие с этими жидкостями, - в число которых входят труб...