ТОС -анализаторы марки АТОС. Практика применения

Введение

      Известно, что качество сверхчистой воды должно непрерывно контролироваться, поскольку такая вода стремится интенсивно поглощать из соприкасающихся с ней конструкционных материалов и сред органические и другие примеси. Анализ сверхчистой воды должен выполняться только в непрерывном режиме (on-line).

      Очень важен анализ общего содержания органического углерода (ТОС) для воды, применяемой в полупроводниковой промышленности, где требования к ее чистоте растут вместе с уменьшением геометрических размеров элементов микросхем и ростом их плотности. Достаточно сказать, что для топологических размеров 1,5 мкм критический уровень концентраций ТОС будет составлять 100 ррb, а для технологий 0,18 мкм вода должна быть очищена до уровня меньше 0,5 ррb [1] .

      В данной статье приводятся результаты практического применения ТОС-анализаторов марки АТОС на современных заводах полупр...